自從1962年半導(dǎo)體金屬氧化物陶瓷氣體傳感器問世以來，半導(dǎo)體氣體傳感器已經(jīng)成為當(dāng)今應(yīng)用zui普遍、*的一類氣體傳感器。它具有成本低廉、制造簡單、靈敏度高、響應(yīng)速度快、壽命長、對敏感低和電路簡單等優(yōu)點(diǎn)。不足之處是必須在高溫下工作、對氣體或氣味的選擇性差、元件參數(shù)分散、穩(wěn)定性不理想、功率高等方面。

目前按照氣敏特性來分，主要分為：半導(dǎo)體型、電化學(xué)型、固體電解質(zhì)型、接觸燃燒型、光化學(xué)型等氣體傳感器，又以前兩種zui為普遍。

我國這些年工業(yè)發(fā)展迅速，種類逐漸齊全，而物位測量儀表作為工業(yè)生產(chǎn)*的重要儀表，需求量很大。巨大市吸引力也造成了激烈的競爭。雖然目前國內(nèi)物位儀表生產(chǎn)廠家眾多，但大多是技術(shù)含量較低、精度比較低的產(chǎn)品，即便銷量可觀，經(jīng)濟(jì)效益也不可觀。怎樣的產(chǎn)品才能有效的占領(lǐng)國內(nèi)物位儀表市場呢，關(guān)鍵在于開發(fā)和生產(chǎn)，的產(chǎn)品。根據(jù)有關(guān)機(jī)構(gòu)的調(diào)查顯示，在物位測量裝置的選購標(biāo)準(zhǔn)中，zui受人們關(guān)注的因素依次是：精度，可靠性，耐久性，操作簡易度，價(jià)格，等。很明顯，精度是人們關(guān)心的首要參數(shù)。而很多市場預(yù)測也驗(yàn)證...

（1）流量的測量和控制不因溫度或壓力的波動而失準(zhǔn)。對于多數(shù)流量測控系統(tǒng)而言，很難避免系統(tǒng)的壓力波動及環(huán)境和介質(zhì)的溫度變化。對于普通的流量計(jì)，壓力及溫度的波動將導(dǎo)致較大的誤差；對于質(zhì)量流量計(jì)/質(zhì)量流量控制器，則一般可以忽略不計(jì)。（2）測量控制的自動化質(zhì)量流量計(jì)/質(zhì)量流量控制器可以將流量測量值以輸出標(biāo)準(zhǔn)電信號輸出。這樣很容易實(shí)現(xiàn)對流量的數(shù)字顯示﹑累積流量自動計(jì)量﹑數(shù)據(jù)自動記錄﹑計(jì)算機(jī)管理等。對質(zhì)量流量控制器而言，還可以實(shí)現(xiàn)流量的自動控制。通常,模擬的MFC/MFM輸入輸出信號為0...

質(zhì)量流量控制器（MFC）中設(shè)置有一個氣體流量調(diào)節(jié)閥門，閥門能使通過控制器的流量從零調(diào)節(jié)到測量的滿量程，在工作的過程當(dāng)中，控制器的入口和出口之間會產(chǎn)生一個氣壓降，即壓差。MFC的工作壓差范圍通常為0.1～0.3MPa，若壓差低于zui低值（0.1MPa），有可能控制達(dá)不到滿量程值;若高于zui高值（0.3MPa），有可能關(guān)閉時(shí)流量不能小于2%F.S。用戶使用MFC時(shí)，無論用戶工作的反應(yīng)室是真空還是高壓，應(yīng)做到使MFC進(jìn)出氣兩端的壓差保持在所要求壓差范圍之內(nèi)，并且要求氣壓要相對穩(wěn)...